潔凈室工程能源消耗分析

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潔凈室工程能源消耗分析

2020-08-20

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“據不完全統計，潔凈室工程的能耗是一般寫字樓的10倍-30倍。我國的8英寸集成電路芯片制造廠，其潔凈室單位面積能耗達到1.48千瓦/平方米～1.93千瓦/平方米，比美國同類型工廠高15%。”上海市室內環境凈化協會秘書長王芳告訴《中國電子報》記者，“以上海某知名芯片廠為例，其全年耗電量的51%用于潔凈室運行維護。如果能將這51%的能耗合理降低，對企業來說就意味著利潤的增長。”

在我國，潔凈廠房的能源消耗是相當大的。能源消耗主要用于生產設備用電和用熱、凈化空調系統的耗電/耗熱和冷負荷、冷凍機組的耗電、排氣裝置的耗電和耗熱、超純水和氣體的制取和輸送以及公用設施和照明的用電等。為達到潔凈室要求的空氣潔凈度等級，潔凈室的循環風量很大。一般空調房間的每小時換氣次數只需要幾次，而潔凈室每小時換氣次數達到10次～600次。由于技術的原因，我國的潔凈室在能耗方面又高于歐美發達國家。

潔凈室的建造費用也十分驚人。《電子工業潔凈廠房設計規范》主要起草人之一秦學禮在接受《中國電子報》記者采訪時表示，ISO6級(相當于美國標準FS2091000級)潔凈室單位面積建造成本約為3000元/平方米～4000元/平方米，而ISO4級(相當于美國標準FS20910級)潔凈室單位面積建造成本則高達1萬元/平方米。

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