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潔凈室工程通俗稱為無塵車間、凈化車間、潔凈室等名稱;其主要原理是將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動、照明、靜電控制在所需求范圍內。主要是對潔凈度、溫度、濕度的控制,提升作業環境,提高產品良率。
無塵車間按用途分類: 空氣潔凈室:已經建造完成并可以投入使用的潔凈室(設施)。它具備所有有關的服務和功能。但是,在設施內沒有操作人員操作的設備。 靜態潔凈室:各種功能完備、設定安裝妥當,可以按照設定使用或正在使用的潔凈室(設施),但是設施內沒有操作人員。 動態潔凈室:處于正常使用的潔凈室,服務功能完善,有設備和人員;如果需要,可從事正常的工作。
實驗室凈化工程的發展與現代工業、尖端技術密切聯系在一起。由于精密機械工業(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(如大規模集成電路生產)等對環境的要求,促進了潔凈室技術的發展。國內曾統計過,在無潔凈級別的要求的環境下生產MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64為儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業中應用潔凈室已相當普遍。