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潔凈室工程按工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環境等。電子工業潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度要求嚴格時,宜采用微環境型式。潔凈室按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。
電子潔凈廠房潔凈區各層專用消防口的設計,應符合現行國家標準潔凈廠房設計規范的有關規定。電子潔凈廠房的耐火等級不應低于二級。微粒、對產品質量有害的雜質、溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等。
在潔凈室的入口處宜設空氣吹淋室,當不設空氣吹淋室時,應設氣閘室。單人空氣吹淋室,應按人數設臺數。潔凈室工作人員超過5人時,空氣吹淋室一側應設單向旁通門。空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室宜設氣閘室。吹淋室風淋室應設在更換潔凈工作服后的相鄰部位。空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟,要采取連鎖控制措施。潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈室的空氣潔凈度等級。
不同等級的潔凈室之間的靜壓差應大于等于 5Pa。潔凈室與室外的靜壓差應大于 10Pa。潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應大于 5Pa。