潔凈室設備的維護

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潔凈室設備的維護

2021-12-17

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潔凈室工程生產設備之選擇、布置與保養，要選用發塵性較少的生產設備及相關設備，尤其須注意活動部分之發塵。生產用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應配備過濾裝置。真空泵等容易產生污染物的這類設備，應設置在無塵室外面或回風區，并加裝排氣管線排氣。生產及相關設備應定期清掃，以避免微塵之堆積。當設備維修時易產生微塵粒子，故維修時盡量于清潔室外進行，并加隔離柵隔離。應有凈化車間專用工具組，但不得帶出凈化車間外使用。

應選擇塵埃之影響較小的生產設備或接口設備。規劃各設備之配置空間時，事先宜考慮不易積累微塵之結構，規劃各并以容易清潔為原則。設置給水管線、氣體管線和電氣系統時，其構造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。應加強注意室內的溫濕度控制，水濂柜避免因濕度之不當造成結露生銹。對于施工或維修之廠商，應告知進出凈化車間之各項規定，且負責工程師應隨侍在側監工。規劃空間時若能臨近凈化車間設立一間維修和設備保養手冊置放室，將是一理想之規劃。

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