硅晶片潔凈室工程的解決方案

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硅晶片潔凈室工程的解決方案

2020-12-09

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從大的方面來講，光伏新能源硅晶片生產包括硅單晶棒生產和光伏新能源硅晶片生產兩大部分，細分為以下幾道主要工序：單晶棒生長-單晶棒裁切和檢測-外徑磨削-切片-倒角（圓邊）-研磨/研磨片檢查-蝕刻（化學蝕刻、LP-CVD+AP-CVD 等工藝）-PTA熱處理-背面損傷處理-拋光（ML粗拋、ML精拋）-洗凈-品質檢查-潔凈包裝從單晶棒生長到外徑磨削為硅單晶棒生產工序，切片以后的流程為光伏新能源硅晶片生產工序。

潔凈室工程空調凈化的設計是與工藝的布局、生產的流程密切結合的。不同類型、不同用途的廠房空調凈化系統都各有特點，切片室、倒角室、研磨片室僅有溫度控制要求，設風冷熱泵分體柜式空調機（PAC）來保證房間溫度要求，室內機就近放置在車間內，接風管，采用雙層百葉風口側送風方式；室外機放置在屋面上。切片室的排風量較大，新風采用直接蒸發式熱泵型屋頂空調機S1-1和S1-2來補充。車間有防塵要求，風冷熱泵分體柜式空調機回風口處設中效過濾器（大氣塵計數效率：≥60%，對于≥1μm 粒子），同樣屋頂式空調機需設兩級過濾器。

在接入每個風量及正壓控制循環機組（AHU）的新風管上均設置電動調節閥，由各潔凈室的正壓值來調節電動調節閥的開度，使潔凈室的正壓值不隨生產設備的排風量的變化而變化，電動調節閥的開度變化引起總送風管上的靜壓變化，根據其設定值調節AHU-1、2的風機頻率，以達到控制目的。

超凈工作臺