潔凈室工程設計

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潔凈室工程設計

2020-10-13

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潔凈室工程是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計的房間。它是污染控制的基礎，控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。由于集成電路芯片、太陽能光伏芯片等在生產時對環境要求非常高，通常需要在無塵的環境下，且控制周圍空氣的潔凈度及溫濕度，才能生產出合格的產品，因此，為了使現有的生產線達到凈化要求，通常要先施工建造一個無塵室。

潔凈室工程的溫濕度是由組合式凈化空調器控制和調節的。然而，隨著科技日新月異的發展，尤其是集成電路生產技術的發展，集成電路芯片生產的線寬由0 .45微米發展到0 .11微米，甚至由微米級向納米級發展，環境溫度的細微變化即可能影響生產工藝。通過進風管向無塵車間內部通入過濾凈化后的新風，同時通過排風管將無塵車間內部的空氣排出；將液態的環氧樹脂傾倒于無塵車間的地面，待環氧樹脂凝固后，使得無塵車間的地面形成水平的環氧樹脂涂層地板。提升了無塵室內部的溫度均勻性，實現了無塵車間的有效保溫。在密封空間的頂部設置吊頂，并將進風罩固定于上述吊頂上，然后安裝進風管、排風管和空調機組。

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