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科學技術的發展很快,高科技的產品不斷出現,尤其是電子工業的發展更是日新月異,像集成電路的發展兩三年就更新一代。IC芯片的發展遵循“ 摩爾定律”( Intel 公司創始人之一GordonE .Moore 1965年預言) ,芯片上可容納的晶體管數目( 即集成度) 每18個月便可增加1倍。10年(2000年一2010年) 間我國IC的主流技術由5 英寸、6 英寸、0.5 lam 以上工藝水平提升到8英寸0.18 lam~0.25m,12 英寸、110nm~90nm~65nm。表征工藝水平的較小線寬( 即特征尺寸featUresiZe ) ,目前已進入納米 ( nm ) 級 ,“ 中芯國 際”32/ 28nm 已取得關鍵技術突破,將在“十二五”中期進入量產。TF T.L C D 的發展速度更快,一二年就上一個臺階:北京京東方n- LCD薄膜晶體管液晶顯示器5代線 ( 基板尺寸1100 lnnl × 1300 mm) 剛投產,即開始建設合肥京東方6代線( 基板尺寸 1500 mm × 1850mm) ;不到2 年又開始北京京東方8.5代線( 基板尺寸2200mm×2500mm) 的建設。目前中電熊貓正規劃TFT—LCD10 代線( 基板尺寸2889mm×3130mm) 的建設。 這就要求為其服務的高級別的潔凈室工程必須能適應其發展速度。
從目前我國潔凈室行業市場發展來看,電子信息、航空航天、精密儀器、醫藥衛生等行業的持續增長,極大地推動了潔凈室的市場需求,進而帶動潔凈室工程行業的大發展。根據中國電子學會綜合測算,2007年中國潔凈室工程行業整體市場規模為217.14 億元,盡管其間受 2008年全球金融危機的影響,部分行業需求下降,波及到潔凈室工程行業,但2009 年下半年起,受國家發布 電子信息產業調整和振興規劃、電子信息產品市場需求釋放等因素的影響,行業對潔凈室的需求迅速恢復,使潔凈室工程行業市場回暖。截止到2011年整個潔凈室工程行業市場規模達到387.77億元,五年間的年均復合增長率平均為15.6%。
實驗室凈化工程有極好的靈活性和適應性,以滿足微電子、光電子等生產工藝不斷發展進步的要求。建造 一個潔凈廠房投入成本高,使用時問長,不是一二年就會拆掉重建。因此,在潔凈室設計與建造時必須考慮到生產工藝流程的不斷發展和變化,使潔凈室具備更好的適應性和靈活性。對于潔凈室工程行業來說,在施工過程中,或者是在潔凈室使用過程中,都會因為生產工藝流程的改變引起的氣流組織、設備容量等方面的變化而導致設計的改變,而這種變更需要在前期設計時預留好變更的空間,否則將 會為后期的改變埋下隱患。